Установка «НИКА-2014 плазмохимия» отмечена наградой на «ВакуумТехЭкспо»

Установка "НИКА-2014 плазмохимия" Лаборатории вакуумных технологий (Beams&Plasmas) – производителя и разработчика импортозамещающей продукции — получила приз 12-й Международной выставке вакуумной техники, материалов и технологий "ВакуумТехЭкспо"-2017, как лучший инновационный продукт 2017 года.

НИКА-2014 - шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения покрытий в среде высокоплотной плазмы. Плазмохимические процессы широко применяются для оборонной и радиоэлектронной промышленности - при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS технологии, оптике.

Состав: камера Ш350х300 мм, генератор плазмы РПГ-250, охлаждаемый/нагреваемый стол с гелиевым теплоотводом, магнитная система. Сухая откачка. 2 модификации: плазмохимическое травление (ПХТ)/ плазмохимическое осаждение (ПХО).