1.82
Распечатать материал
Компания "ЛВТ" представит новые установки для плазмохимии и напыления на ВТЭ-2017
Компания "Лаборатории вакуумных технологий" (Beams&Plasmas) покажет свои новинки на выставке "ВакуумТехЭкспо"-2017 (ВТЭ-2017).Будет представлено следующее оборудование:
- плазмохимическая установка НИКА-2014 ПХТ;
- установка магнетронного напыления НИКА-13 ПР-С;
- цифровые вакуумные датчики ВТРЦ-ДТВ01 и ВТРЦ-ПМТ, ВМЦ.
НИКА-2013 представляет собой полноценную промышленную машину с большой загрузкой, сухой откачкой, быстрой перезагрузкой.
Основные технические особенности данной установки:
- Назначение: напыление резистивных слоев, ионная очистка и травление; нанесение толстых металлических слоёв методом термовакуумного испарения в магнетронном разряде.
- Состав: Камера Ш700х500 мм, до 4 магнетронов, нагреватель, ионный источник. Возможность установки дополнительного оборудования.
- Загрузка: 136 подложек 60х48 или 48 круглых подложек Ш100.
- 3 модификации: резистивные слои РС, проводящие слои ПС (напыление), магнетронное осаждение/травление МО/МТ (плазмохимия).
НИКА-2014 - шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения в среде высокоплотной плазмы. Применима при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS технологии, оптике. Состав: камера Ш350х300 мм, генератор плазмы РПГ-250, охлаждаемый/нагреваемый стол с гелиевым теплоотводом, магнитная система. Сухая откачка. 2 модификации: плазмохимическое травление (ПХТ)/ плазмохимическое осаждение (ПХО).
Цифровые низковакуумные и высоковакуумные датчики собственного производства (Beams&Plasmas) с улучшенными характеристиками используются для замены вакуумметров типа Мерадат, 13ВТ-003 и ВМБ-8 (ВМБ-14) и ламп ПММ-32-1, ПМТ-6. Вакуумметры Beams&Plasmas устраняют наводки на аналоговые цепи, отличаются высокой точностью измерений.
565