Новосибирские ученые создали лазер для микрочипов: испытания пройдут в Минске

В России разработали лазерную систему для производства микросхем, которая может заменить американские аналоги. Новосибирская компания «Оптические системы» представила установку, работающую на длине волны 257 нанометров — такой же, как у лазеров Coherent из США. Как сообщает корреспондент Информационного агентства МАНГАЗЕЯ, предсерийный образец пройдет испытания на белорусском предприятии «Планар», участвующем в создании российского литографа.

Лазерная система включает два ключевых компонента: источник излучения мощностью 10–30 милливатт и волоконный усилитель, повышающий мощность до 15 ватт. Разработчики отмечают, что их решение потребляет меньше энергии по сравнению с зарубежными аналогами. Однако точные технические параметры пока не раскрываются.

Как работает литография и почему это важно
Литография — это технология нанесения микроскопических узоров на кремниевые пластины, из которых делают чипы. Процесс напоминает печать фотографий, только вместо краски используется свет. Лазер с длиной волны 257 нм позволяет создавать детали размером до 350 нанометров. Чем короче длина волны, тем точнее можно «нарисовать» схему. Современные литографы, такие как голландские ASML, используют экстремальный ультрафиолет (EUV) с длиной волны всего 13,5 нм, но такие системы крайне сложны и дороги. Российская разработка пока ориентирована на менее тонкие процессы, но это важный шаг для импортозамещения.

Роль волоконных усилителей в лазерных системах
Волоконный усилитель — это устройство, которое увеличивает мощность лазерного луча, пропуская его через специальное оптическое волокно, легированное редкоземельными элементами (например, эрбием). Без такого усилителя лазер не сможет обеспечить достаточную энергию для обработки материалов. В новой российской системе мощность повышается с 30 милливатт до 15 ватт — этого хватит для промышленного применения. Интересно, что подобные технологии используются не только в микроэлектронике, но и в медицине, например, в лазерной хирургии.

История белорусского завода «Планар» и его роль в проекте
Предприятие «Планар» — один из немногих в СНГ производителей литографического оборудования. В советское время здесь выпускали установки для оборонной и космической промышленности. После распада СССР завод пережил сложный период, но сохранил компетенции. В 2017 году была представлена модель ЭМ-5784 с разрешением 350 нм — по современным меркам не самая передовая, но достаточная для ряда задач. Сейчас «Планар» может стать ключевым партнером России в создании собственного литографического оборудования, что особенно важно в условиях санкций.

Эксперты пока осторожно комментируют новость, так как детали проекта остаются неясными. Однако сам факт сотрудничества российских и белорусских специалистов в области микроэлектроники выглядит многообещающе.